Filmetrics F60-t 自動光反射膜厚儀就像我們的F50膜厚測量儀產(chǎn)品一樣。主要測繪薄膜厚度和折射率。但它增加了許多用于生產(chǎn)環(huán)境的功能。這些功能包括凹槽自動檢測、自動基準確定、全封閉測量平臺、預(yù)裝軟件的工業(yè)計算機，以及升級到全自動化晶圓傳輸?shù)臋C型。
Filmetrics F60-t 自動光反射膜厚儀就像我們的F50白光干涉膜厚測量儀產(chǎn)品一樣。主要測繪薄膜厚度和折射率。但它增加了許多用于生產(chǎn)環(huán)境的功能。這些功能包括凹槽自動檢測、自動基準確定、全封閉測量平臺、預(yù)裝軟件的工業(yè)計算機，以及可以升級到全自動化晶圓傳輸?shù)臋C型。
自動化薄膜厚度繪圖系統(tǒng)，快速定位、實時獲得結(jié)果；
可測樣品膜層：基本上光滑的。非金屬的薄膜都可以測量；
所有系統(tǒng)皆使用直觀的標準分析軟件；
凹槽自動檢測
自動基準確定
全封閉測量平臺
當入射光穿透不同物質(zhì)的界面時將會有部分的光被反射，由于光的波動性導(dǎo)致從多個界面的反射光彼此干涉，從而使反射光的多波長光譜產(chǎn)生震蕩的現(xiàn)象。從光譜的震蕩頻率，可以判斷不同界面的距離進而得到材料的厚度（越多的震蕩代表越大的厚度），同時也能得到其他的材料特性如折射率與粗糙度。
顯示技術(shù) | 消費電子 | 派瑞林 | |
光刻膠 | OLED | 防水涂層 | 電子產(chǎn)品/電路板 |
介電層 | ITO和TCOs | 射頻識別 | 磁性材料 |
砷化鎵 | 空氣盒厚 | 太陽能電池 | 醫(yī)學(xué)器械 |
微機電系統(tǒng) | PVD和CVD | 鋁制外殼陽極膜 | 硅橡膠 |
波長范圍： | 190nm-1340nm | 光源： | 鎢鹵素?zé)?/span> |
光斑大?。?/span> | 標準1.5毫米（最小可達150μm） | 測量精度： | 0.02nm1 |
準確度*：取較大者 | 1nm或0.2% | 穩(wěn)定性： | 0.05nm3 |
更多參數(shù)可聯(lián)系我們獲取 | |||
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