Filmetrics F3-sX 光學(xué)厚膜測(cè)厚儀

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Filmetrics F3-sX 光學(xué)厚膜測(cè)厚儀產(chǎn)品介紹：

Filmetrics F3-sX 光學(xué)厚膜測(cè)厚儀利用光譜反射原理，可以測(cè)量厚度達(dá)到3毫米的眾多半導(dǎo)體及介電層薄膜。相對(duì)于較薄的膜層，這種厚膜的表面較粗糙且不均勻，F(xiàn)3-sX系列膜厚儀配置10微米的測(cè)量光斑，從而可以容易地測(cè)量其他膜厚測(cè)量?jī)x器不能測(cè)量的膜層，并且僅在幾分之一秒內(nèi)完成。F3-sX膜厚儀在Si晶圓厚度測(cè)量、護(hù)涂層、IC芯片失效分析、厚光刻膠等方面優(yōu)異表現(xiàn)。

Filmetrics F3-sX 光學(xué)厚膜測(cè)厚儀產(chǎn)品特點(diǎn)優(yōu)勢(shì)：

非接觸測(cè)量：避免損傷薄膜，適用于脆弱或敏感材料；
多場(chǎng)景適用性：基本上光滑的、半透明的或低吸收系數(shù)的薄膜都可以測(cè)量。
測(cè)量速度快：配置完成后，數(shù)秒內(nèi)即可完成測(cè)量。
采用近紅外光(NIR)來測(cè)量膜層厚度，因此可以測(cè)試一些肉眼看是不透明的膜層
配件包括自動(dòng)繪圖平臺(tái)、測(cè)量點(diǎn)可視化攝像機(jī)，和可見光擴(kuò)展波段選項(xiàng)

Filmetrics F3-sX 光學(xué)厚膜測(cè)厚儀產(chǎn)品測(cè)量原理：

當(dāng)入射光穿透不同物質(zhì)的界面時(shí)將會(huì)有部分的光被反射，由于光的波動(dòng)性導(dǎo)致從多個(gè)界面的反射光彼此干涉，從而使反射光的多波長(zhǎng)光譜產(chǎn)生震蕩的現(xiàn)象。從光譜的震蕩頻率，可以判斷不同界面的距離進(jìn)而得到材料的厚度（越多的震蕩代表越大的厚度），同時(shí)也能得到其他的材料特性如折射率與粗糙度。

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Filmetrics F3-sX 光學(xué)厚膜測(cè)厚儀產(chǎn)應(yīng)用與膜層范例：

薄膜特性：厚度、反射率、透射率、光學(xué)常數(shù)、均勻性、刻蝕量等
薄膜種類：透明及半透明薄膜，常見如氧化物、聚合物甚至空氣
薄膜狀態(tài)：固態(tài)、液態(tài)和氣態(tài)薄膜都可以測(cè)量
薄膜結(jié)構(gòu)：單層膜、多層膜；平面、曲面

Filmetrics F3-sX 光學(xué)厚膜測(cè)厚儀產(chǎn)品常見工業(yè)應(yīng)用：

半導(dǎo)體膜層	顯示技術(shù)	消費(fèi)電子	派瑞林
光刻膠	OLED	防水涂層	電子產(chǎn)品/電路板
介電層	ITO和TCOs	射頻識(shí)別	磁性材料
砷化鎵	空氣盒厚	太陽能電池	醫(yī)學(xué)器械
微機(jī)電系統(tǒng)	PVD和CVD	鋁制外殼陽極膜	硅橡膠

Filmetrics F3-sX 光學(xué)厚膜測(cè)厚儀產(chǎn)品參數(shù)：

波長(zhǎng)范圍：	1280-1340nm	光源：	200KMTBFSLED
厚度測(cè)量范圍n=1.5：	15um-2mm	厚度測(cè)量范圍n=3.5：	7um-1mm
光斑大?。?/span>	標(biāo)準(zhǔn)工作距離53mm	測(cè)量精度：	5nm