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Filmetrics F20 單點(diǎn)便攜式膜厚儀

Filmetrics F20膜厚儀是一款兼具優(yōu)異性價(jià)比與出色便攜性的單點(diǎn)測(cè)量設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、材料研發(fā)及質(zhì)量控制領(lǐng)域。其操作簡(jiǎn)便、測(cè)量快速,為各類薄膜厚度檢測(cè)需求提供了經(jīng)濟(jì)可靠的解決方案。

  • 產(chǎn)品名稱 單點(diǎn)光學(xué)膜厚儀
  • 品牌 Filmetrics
  • 產(chǎn)品型號(hào) F20
  • 產(chǎn)地 美國(guó)


Filmetrics F20 單點(diǎn)便攜式膜厚儀



F20儀器圖片


Filmetrics F20 單點(diǎn)便攜式膜厚儀產(chǎn)品介紹:

無(wú)論您是想要知道薄膜厚度、光學(xué)常數(shù),還是想要知道材料的反射率和透過(guò)率,Filmetrics F20 單點(diǎn)便攜式膜厚儀都能滿足您的需要。僅需花費(fèi)幾分鐘完成安裝,通過(guò)USB連接電腦,設(shè)備就可以在數(shù)秒內(nèi)得到測(cè)量結(jié)果?;谀K化設(shè)計(jì)的特點(diǎn),Filmetrics F20 單點(diǎn)便攜式膜厚儀適用于各種應(yīng)用。



Filmetrics F20 單點(diǎn)便攜式膜厚儀產(chǎn)品特點(diǎn):

  • 非接觸測(cè)量:避免損傷薄膜,適用于脆弱或敏感材料;

  • 高精度與寬量程垂直分辨率達(dá)納米級(jí),可測(cè)厚度范圍從1nm3mm;

  • 多場(chǎng)景適用性:基本上光滑的、半透明的或低吸收系數(shù)的薄膜都可以測(cè)量。

  • 測(cè)量速度快:配置完成后,數(shù)秒內(nèi)即可完成測(cè)量。



Filmetrics F20 單點(diǎn)便攜式膜厚儀測(cè)量原理:

當(dāng)入射光穿透不同物質(zhì)的界面時(shí)將會(huì)有部分的光被反射,由于光的波動(dòng)性導(dǎo)致從多個(gè)界面的反射光彼此干涉,從而使反射光的多波長(zhǎng)光譜產(chǎn)生震蕩的現(xiàn)象。從光譜的震蕩頻率,可以判斷不同界面的距離進(jìn)而得到材料的厚度(越多的震蕩代表越大的厚度),同時(shí)也能得到其他的材料特性如折射率與粗糙度。

膜厚儀測(cè)量原理示意圖



Filmetrics F20 單點(diǎn)便攜式膜厚儀膜層范例:

  • 薄膜特性:厚度、反射率、透射率、光學(xué)常數(shù)、均勻性、刻蝕量等

  • 薄膜種類:透明及半透明薄膜,常見(jiàn)如氧化物、聚合物甚至空氣

  • 薄膜狀態(tài):固態(tài)、液態(tài)和氣態(tài)薄膜都可以測(cè)量

  • 薄膜結(jié)構(gòu):單層膜、多層膜;平面、曲面



Filmetrics F20 單點(diǎn)便攜式膜厚儀常見(jiàn)工業(yè)應(yīng)用:

半導(dǎo)體膜層

顯示技術(shù)

消費(fèi)電子

派瑞林

光刻膠

OLED

防水涂層

電子產(chǎn)品/電路板

介電層

ITOTCOs

射頻識(shí)別

磁性材料

砷化鎵

空氣盒厚

太陽(yáng)能電池

醫(yī)學(xué)器械

微機(jī)電系統(tǒng)

PVDCVD

鋁制外殼陽(yáng)極膜

硅橡膠



Filmetrics F20 單點(diǎn)便攜式膜厚儀產(chǎn)品參數(shù):

波長(zhǎng)范圍:

380-1050nm

光源:

鹵素?zé)?/span>

厚度測(cè)量范圍:

15nm-70um

測(cè)量精度:

0.02nm

光斑大?。?/span>

1.5mm

樣品臺(tái)尺寸:

1mm-300mm

更多參數(shù)可聯(lián)系我們獲取



Filmetrics F20 單點(diǎn)便攜式膜厚儀測(cè)量圖:

硅上二氧化硅測(cè)量厚度圖

硅上氧化硅測(cè)量厚度數(shù)據(jù)








標(biāo)簽: KLA Filmetrics

關(guān)聯(lián)內(nèi)容

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