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- / CHInano 2025｜優(yōu)尼康即將參加蘇州納博會(huì)，邀您探討精密檢測(cè)前沿應(yīng)用！
CHInano作為全國規(guī)模最大的納米技術(shù)領(lǐng)域展會(huì)集聚了一批精密檢測(cè)領(lǐng)域參展企業(yè)，現(xiàn)場(chǎng)商業(yè)合作氛圍高漲。本屆精密檢測(cè)專區(qū)將繼續(xù)匯聚國內(nèi)外頂尖精密檢測(cè)平臺(tái)、專業(yè)裝備行業(yè)巨頭參展，誠摯邀請(qǐng)您蒞臨，共同見證未來科技的誕生與發(fā)展！
優(yōu)尼康攜兩款重磅產(chǎn)品參加蘇州納博會(huì)，其中KLA旗下的Filmetrics F50自動(dòng)Mapping膜厚測(cè)量儀自動(dòng)并快速獲得薄膜的厚度分布圖，而Film Sense多波長橢偏儀對(duì)測(cè)量納米級(jí)薄膜有著超強(qiáng)實(shí)力。
B1館 533號(hào)優(yōu)尼康展臺(tái)，現(xiàn)場(chǎng)設(shè)置豐富的驚喜抽獎(jiǎng)活動(dòng)，期待與各位在CHInano 2025現(xiàn)場(chǎng)見！
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展會(huì)時(shí)間：2025年10月22-24日
展會(huì)地點(diǎn)：蘇州國際博覽中心
優(yōu)尼康展位： B1館 533號(hào)
(下方有圖示位置指引)
展館分布
展臺(tái)指引
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Filmetrics F50 自動(dòng)Mapping膜厚測(cè)量儀 | ||
F50可以非常簡單地獲得最大直徑450毫米的樣品薄膜厚度分布圖。采用r-θ 極坐標(biāo)移動(dòng)平臺(tái)，可以快速定位所需的測(cè)試點(diǎn)并且實(shí)時(shí)獲得測(cè)試厚度，大約每秒測(cè)試兩點(diǎn)。 | ||
相關(guān)應(yīng)用：半導(dǎo)體制造（光刻膠、氧化物/氮化物/SOI、晶圓背面研磨）；LCD 液晶顯示器（聚酰亞胺、ITO 透明導(dǎo)電膜）；光學(xué)鍍膜（硬涂層、抗反射層）；MEMS 微機(jī)電系統(tǒng)（光刻膠、硅系膜層）。 |
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FS-8 多波長橢偏儀 | ||
Film Sense FS-8 多波長橢偏儀采用壽命長 LED 光源和非移動(dòng)式部件橢偏探測(cè)器，可在操作簡單的緊湊型橢偏儀中實(shí)現(xiàn)可靠地薄膜測(cè)量。 | ||
相關(guān)應(yīng)用：二氧化硅和氮化物，高介電和低介電材料，非晶和多晶材料，硅薄膜，光刻膠。高和低指數(shù)薄膜，如 SiO2, TiO2, Ta2O5, MgF2。TCO（如 ITO），非晶硅薄膜，有機(jī)薄膜（OLED 技術(shù)）等。 |
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