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Filmetrics F54-XY-200 自動光學膜厚測量儀

Filmetrics F54-XY-200自動光學膜厚測量儀借助光譜反射系統(tǒng),可以測量尺寸達200 x 200mm樣品的薄膜厚度電動XY工作臺自動移動到選定的測量點并提供厚度測量,達到每秒兩點。您可以從數(shù)十種預定義的極性,矩形或線性測量坐標圖案中選擇,也可以創(chuàng)建自己編輯的測量點數(shù)量。此桌面系統(tǒng)只需幾分鐘即可完成設置,任何具有基本計算機技能的人都可以使用。

  • 產品名稱 自動光學膜厚測量儀
  • 品牌 Filmetrics
  • 產品型號 F54-XY-200
  • 產地 美國


Filmetrics F54-XY-200 自動光學膜厚測量儀



圖片關鍵詞


Filmetrics F54-XY-200 自動光學膜厚測量儀產品介紹:

Filmetrics F54-XY-200 自動光學膜厚測量儀借助光譜反射系統(tǒng),可以測量尺寸達200 x 200mm樣品的薄膜厚度電動XY工作臺自動移動到選定的測量點并提供厚度測量,達到每秒兩點。您可以從數(shù)十種預定義的極性,矩形或線性測量坐標圖案中選擇,也可以創(chuàng)建自己編輯的測量點數(shù)量。此桌面系統(tǒng)只需幾分鐘即可完成設置,任何具有基本計算機技能的人都可以使用。



Filmetrics F54-XY-200 自動光學膜厚測量儀產品特點優(yōu)勢:

  • 自動化薄膜厚度繪圖系統(tǒng),快速定位、實時獲得結果;

  • 可測樣品膜層:基本上所有光滑的。非金屬的薄膜都可以測量;

  • 測繪結果可用2D3D呈現(xiàn),方便用戶從不同的角度檢視;



Filmetrics F54-XY-200 自動光學膜厚測量儀測量原理:

當入射光穿透不同物質的界面時將會有部分的光被反射,由于光的波動性導致從多個界面的反射光彼此干涉,從而使反射光的多波長光譜產生震蕩的現(xiàn)象。從光譜的震蕩頻率,可以判斷不同界面的距離進而得到材料的厚度(越多的震蕩代表越大的厚度),同時也能得到其他的材料特性如折射率與粗糙度。

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Filmetrics F54-XY-200 自動光學膜厚測量儀工業(yè)應用:

半導體膜層

顯示技術

消費電子

派瑞林

光刻膠

OLED

防水涂層

電子產品/電路板

介電層

ITOTCOs

射頻識別

磁性材料

砷化鎵

空氣盒厚

太陽能電池

醫(yī)學器械

微機電系統(tǒng)

PVDCVD

鋁制外殼陽極膜

硅橡膠


Filmetrics F54-XY-200 自動光學膜厚測量儀參數(shù):

波長范圍:

190nm-1700nm

光源:

鎢鹵素燈、氘燈

測量nk值厚度要求*

50nm

測量精度2

0.02nm

準確度*:取較大者

1nm0.2%

穩(wěn)定性3

0.05nm

更多參數(shù)可聯(lián)系我們獲取


Filmetrics F54-XY-200 自動光學膜厚測量儀測量圖:圖片關鍵詞


標簽: KLA Filmetrics

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