Filmetrics F54-XYT-300 自動測量光學(xué)膜厚儀

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Filmetrics F54-XYT-300 自動測量光學(xué)膜厚儀產(chǎn)品介紹：

Filmetrics F54-XYT-300 自動測量光學(xué)膜厚儀借助F54-XYT-300的光譜反射系統(tǒng)，可以快速輕松地測量200 x 200mm樣品的薄膜厚度。電動XY工作臺自動移動到選定的測量點并提供快速的厚度測量，速度達(dá)到每秒兩點。

Filmetrics F54-XYT-300 自動測量光學(xué)膜厚儀產(chǎn)品特點優(yōu)勢：

自動化薄膜厚度繪圖系統(tǒng)，快速定位、實時獲得結(jié)果；
可測樣品膜層：基本上光滑的。非金屬的薄膜都可以測量；
測繪結(jié)果可用2D或3D呈現(xiàn)，方便用戶從不同的角度檢視；

Filmetrics F54-XYT-300 自動測量光學(xué)膜厚儀測量原理：

當(dāng)入射光穿透不同物質(zhì)的界面時將會有部分的光被反射，由于光的波動性導(dǎo)致從多個界面的反射光彼此干涉，從而使反射光的多波長光譜產(chǎn)生震蕩的現(xiàn)象。從光譜的震蕩頻率，可以判斷不同界面的距離進(jìn)而得到材料的厚度（越多的震蕩代表越大的厚度），同時也能得到其他的材料特性如折射率與粗糙度。

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Filmetrics F54-XYT-300 自動測量光學(xué)膜厚儀產(chǎn)品應(yīng)用與膜層范例：

半導(dǎo)體膜層	顯示技術(shù)	消費電子	派瑞林
光刻膠	OLED	防水涂層	電子產(chǎn)品/電路板
介電層	ITO和TCOs	射頻識別	磁性材料
砷化鎵	空氣盒厚	太陽能電池	醫(yī)學(xué)器械
微機電系統(tǒng)	PVD和CVD	鋁制外殼陽極膜	硅橡膠

Filmetrics F54-XYT-300 自動測量光學(xué)膜厚儀產(chǎn)品常見工業(yè)應(yīng)用：

半導(dǎo)體制造	LCD液晶顯示器	光學(xué)鍍層	MEMS微機電系統(tǒng)
光刻膠	聚酰亞胺	硬涂層	光刻膠
氧化物/氮化物/SOI	ITO透明導(dǎo)電膜	抗反射涂層	硅系膜層
晶圓背面研磨

Filmetrics F54-XYT-300 自動測量光學(xué)膜厚儀產(chǎn)品參數(shù)：

波長范圍：	190nm-1700nm	光源：	鎢鹵素?zé)?、氘?/span>
測量nk厚度要求1*：	50nm	測量精度2：	0.02nm
準(zhǔn)確度*：取較大者	1nm或0.2%	穩(wěn)定性3：	0.05nm
樣品大?。?/span>	≤直徑300毫米	速度（含有真空平臺）：	5個點-8秒 25個點-21秒 56個點-43秒

光斑大小	標(biāo)準(zhǔn)500 微米孔徑	選配250 微米孔徑	選配100 微米孔徑
5X物鏡	100μm	50μm	20μm
10X物鏡	50μm	25μm	10μm
15X物鏡	33μm	17μm	7μm
50X物鏡	10μm	5μm	2μm