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Filmetrics F50 自動(dòng)Mapping膜厚測(cè)量?jī)x

優(yōu)尼康科技為您提供Filmetrics F50 自動(dòng)Mapping膜厚儀,依靠自動(dòng)光譜測(cè)量系統(tǒng),可以簡(jiǎn)單且快速地獲得直徑450毫米的樣品薄膜的厚度分布圖,測(cè)試非??焖?,大約每秒能測(cè)試兩點(diǎn)。用戶可以自己繪制需要的點(diǎn)位地圖。適用于半導(dǎo)體、消費(fèi)電子、新能源等行業(yè)。歡迎聯(lián)系我們獲取詳細(xì)技術(shù)資料與報(bào)價(jià)。

  • 產(chǎn)品名稱 自動(dòng)Mapping膜厚測(cè)量?jī)x
  • 品牌 Filmetrics
  • 產(chǎn)品型號(hào) F50
  • 產(chǎn)地 美國(guó)


Filmetrics F50 自動(dòng)Mapping膜厚測(cè)量?jī)x



圖片關(guān)鍵詞


Filmetrics F50 自動(dòng)Mapping膜厚測(cè)量?jī)x產(chǎn)品介紹:

Filmetrics F50 自動(dòng)Mapping膜厚測(cè)量?jī)x依靠光譜測(cè)量系統(tǒng),可以簡(jiǎn)單且快速地獲得直徑450毫米的樣品薄膜的厚度分布圖。采用r-θ極坐標(biāo)移動(dòng)平臺(tái),可以快速的定位所需測(cè)試的點(diǎn)并測(cè)試厚度,測(cè)試非常快速,大約每秒能測(cè)試兩點(diǎn)。用戶可以自己繪制需要的點(diǎn)位地圖。Filmetrics F50 自動(dòng)Mapping膜厚測(cè)量?jī)x配置精度高使用壽命長(zhǎng)的移動(dòng)平臺(tái),以求能夠做成千上萬(wàn)次測(cè)量。



Filmetrics F50 自動(dòng)Mapping膜厚測(cè)量?jī)x產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):

  • 自動(dòng)化薄膜厚度繪圖系統(tǒng),快速定位、實(shí)時(shí)獲得結(jié)果;

  • 可測(cè)樣品膜層:基本上光滑的。非金屬的薄膜都可以測(cè)量;

  • 測(cè)繪結(jié)果可用2D或3D呈現(xiàn),方便用戶從不同的角度檢視;



Filmetrics F50 自動(dòng)Mapping膜厚測(cè)量?jī)x測(cè)量原理:

當(dāng)入射光穿透不同物質(zhì)的界面時(shí)將會(huì)有部分的光被反射,由于光的波動(dòng)性導(dǎo)致從多個(gè)界面的反射光彼此干涉,從而使反射光的多波長(zhǎng)光譜產(chǎn)生震蕩的現(xiàn)象。從光譜的震蕩頻率,可以判斷不同界面的距離進(jìn)而得到材料的厚度(越多的震蕩代表越大的厚度),同時(shí)也能得到其他的材料特性如折射率與粗糙度。

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Filmetrics F50 自動(dòng)Mapping膜厚測(cè)量?jī)x常見(jiàn)工業(yè)應(yīng)用:

半導(dǎo)體膜層

顯示技術(shù)

消費(fèi)電子

派瑞林

光刻膠

OLED

防水涂層

電子產(chǎn)品/電路板

介電層

ITO和TCOs

射頻識(shí)別

磁性材料

砷化鎵

空氣盒厚

太陽(yáng)能電池

醫(yī)學(xué)器械

微機(jī)電系統(tǒng)

PVD和CVD

鋁制外殼陽(yáng)極膜

硅橡膠



Filmetrics F50 自動(dòng)Mapping膜厚測(cè)量?jī)x產(chǎn)品參數(shù):

波長(zhǎng)范圍:

190nm-1340nm

光源:

鎢鹵素?zé)簟㈦疅?/span>

厚度測(cè)量范圍:

5nm-2mm

測(cè)量精度:

0.02nm

光斑大?。?/span>

標(biāo)準(zhǔn)1.5毫米

樣品臺(tái)尺寸:

1-300mm

聯(lián)系我們獲取更多參數(shù)



Filmetrics F50 自動(dòng)Mapping膜厚測(cè)量?jī)x測(cè)量圖:

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標(biāo)簽: KLA Filmetrics

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