KLA Profilm3D 光學(xué)輪廓儀

圖片關(guān)鍵詞

KLA Profilm3D 光學(xué)輪廓儀產(chǎn)品介紹：

KLA Profilm3D 是一款3D白光干涉輪廓儀。KLA Profilm3D 光學(xué)輪廓儀使用垂直干涉掃描(WLI)技術(shù)與相位干涉(PSI)技術(shù)。以較低的價(jià)格實(shí)現(xiàn)次納米級(jí)的表面形貌研究。采用白光干涉原理，不損傷樣品。

KLA Profilm3D 光學(xué)輪廓儀產(chǎn)品特點(diǎn)優(yōu)勢(shì)：

視場(chǎng)范圍：Profilm3D僅用10倍物鏡就提供了達(dá)到2mm的視場(chǎng)范圍，同時(shí)其最大4倍光學(xué)變焦的功能滿足了不同應(yīng)用時(shí)切換多個(gè)物鏡的需求。這些都進(jìn)一步降低了采購(gòu)需求成本。
100mm自動(dòng)XY樣品臺(tái)：每臺(tái)Profilm3D光學(xué)輪廓儀都配備100mm自動(dòng)XY樣品臺(tái)，4孔物鏡轉(zhuǎn)臺(tái)和手動(dòng)調(diào)平裝置作為標(biāo)準(zhǔn)配置。
性價(jià)比高：以較低的價(jià)格實(shí)現(xiàn)次納米級(jí)的表面形貌研究。
?非接觸式高精度測(cè)量?：垂直分辨率可達(dá)?亞納米級(jí)?（<1nm），適用于敏感材料（如軟質(zhì)聚合物、生物樣本）的無(wú)損檢測(cè)。
?測(cè)量簡(jiǎn)單：?Profilm3D光學(xué)輪廓儀軟件能直觀的反應(yīng)包括表面粗糙度，形狀和臺(tái)階高度的測(cè)量。在數(shù)秒內(nèi)，您可以獲得平面和曲面表面上測(cè)量所有常見的粗糙度參數(shù)。也可以選擇拼接功能軟件升級(jí)來(lái)組合多個(gè)影像以提供大面積測(cè)量。

KLA Profilm3D 光學(xué)輪廓儀產(chǎn)品測(cè)量原理：

KLA Profilm3D 光學(xué)輪廓儀采用白光作為光源，通過(guò)分光鏡將光束分為兩路：一路照射被測(cè)樣品表面，另一路投射至參考鏡表面，兩束反射光在CCD相機(jī)上形成干涉條紋。樣品表面的微小高度差導(dǎo)致光程差變化，通過(guò)分析干涉條紋的明暗分布及位置偏移，計(jì)算表面各點(diǎn)的相對(duì)高度，生成三維形貌數(shù)據(jù)。

KLA Profilm3D 光學(xué)輪廓儀主要應(yīng)用：

臺(tái)階高度	紋理
外形	應(yīng)力
薄膜厚度	缺陷檢測(cè)

KLA Profilm3D 光學(xué)輪廓儀產(chǎn)品參數(shù)：

厚度范圍（WLI）	50nm-10mm	厚度范圍(PSI)	0-3μm
RMS重復(fù)性(WLI）:	1.0nm	RMS重復(fù)性(PSI）:	0.1nm
臺(tái)階高度準(zhǔn)確度：	0.7%	臺(tái)階高度精確度：	0.1%
樣品反射率范圍：	0.05%-100%	ISO25178兼容：	是
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