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Filmetrics F54 高分辨率自動(dòng)薄膜測(cè)量系統(tǒng)

Filmetrics F54膜厚儀創(chuàng)新融合顯微測(cè)量與自動(dòng)化技術(shù),兼具微米級(jí)小光斑高分辨率與全自動(dòng)掃描能力。該系統(tǒng)支持微小區(qū)域的精準(zhǔn)定位與自動(dòng)Mapping測(cè)量,適用于半導(dǎo)體微結(jié)構(gòu)、MEMS器件及研發(fā)領(lǐng)域的高精度膜厚分析,實(shí)現(xiàn)從單點(diǎn)至區(qū)域的全面薄膜表征。

  • 產(chǎn)品名稱 高分辨率自動(dòng)薄膜測(cè)量系統(tǒng)
  • 品牌 Filmetrics
  • 產(chǎn)品型號(hào) F54
  • 產(chǎn)地 美國(guó)


Filmetrics F54 高分辨率自動(dòng)薄膜測(cè)量系統(tǒng)



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Filmetrics F54 高分辨率自動(dòng)薄膜測(cè)量系統(tǒng)產(chǎn)品介紹:

Filmetrics F54 高分辨率自動(dòng)薄膜測(cè)量系統(tǒng)能以一個(gè)電動(dòng)R-Theta平臺(tái)自動(dòng)移動(dòng)到選定的測(cè)量點(diǎn)以每秒測(cè)繪兩個(gè)點(diǎn)的速度快速的測(cè)繪薄膜厚度, 樣品直徑達(dá)450毫米,可選擇數(shù)十種內(nèi)建之同心圓,矩形,或線性圖案模式,自行建立無數(shù)量限制之測(cè)量點(diǎn).只需具備基本電腦技能,就可在數(shù)分鐘內(nèi)自行建立配方。


Filmetrics F54 高分辨率自動(dòng)薄膜測(cè)量系統(tǒng)產(chǎn)品特點(diǎn):

  • 自動(dòng)化薄膜厚度繪圖系統(tǒng),快速定位、實(shí)時(shí)獲得結(jié)果;

  • 可測(cè)樣品膜層:基本上光滑的。非金屬的薄膜都可以測(cè)量;

  • 測(cè)繪結(jié)果可用2D3D呈現(xiàn),方便用戶從不同的角度檢視;


Filmetrics F54 高分辨率自動(dòng)薄膜測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量原理:

當(dāng)入射光穿透不同物質(zhì)的界面時(shí)將會(huì)有部分的光被反射,由于光的波動(dòng)性導(dǎo)致從多個(gè)界面的反射光彼此干涉,從而使反射光的多波長(zhǎng)光譜產(chǎn)生震蕩的現(xiàn)象。從光譜的震蕩頻率,可以判斷不同界面的距離進(jìn)而得到材料的厚度(越多的震蕩代表越大的厚度),同時(shí)也能得到其他的材料特性如折射率與粗糙度。

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Filmetrics F54 高分辨率自動(dòng)薄膜測(cè)量系統(tǒng)產(chǎn)品應(yīng)用:

半導(dǎo)體膜層

顯示技術(shù)

消費(fèi)電子

派瑞林

光刻膠

OLED

防水涂層

電子產(chǎn)品/電路板

介電層

ITOTCOs

射頻識(shí)別

磁性材料

砷化鎵

空氣盒厚

太陽(yáng)能電池

醫(yī)學(xué)器械

微機(jī)電系統(tǒng)

PVDCVD

鋁制外殼陽(yáng)極膜

硅橡膠



Filmetrics F54 高分辨率自動(dòng)薄膜測(cè)量系統(tǒng)產(chǎn)品參數(shù):

波長(zhǎng)范圍:

190nm-1700nm

光源:

鎢鹵素?zé)?、氘?/span>

光斑大小:

標(biāo)準(zhǔn)1.5毫米

測(cè)量精度2

0.02nm

準(zhǔn)確度*:取較大者

1nm0.2%

穩(wěn)定性3

0.05nm

5X物鏡厚度范圍:

20nm-120μm

更多參數(shù)可聯(lián)系我們獲取



Filmetrics F54 高分辨率自動(dòng)薄膜測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量圖:

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標(biāo)簽: KLA Filmetrics

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