KLA Zeta-388光學輪廓儀是非接觸式三維表面形貌測量系統(tǒng)。該系統(tǒng)在Zeta-300光學輪廓儀的基礎上，增加了用于全自動測量的機械手臂操作系統(tǒng)。Zeta-388光學輪廓儀采用ZDot技術和多模組光學系統(tǒng)，可測量各種不同的樣品：包括透明與不透明、低至高反射率、光滑到粗糙的表面，以及亞納米級到毫米級的臺階高度。KLA Zeta-388光學輪廓儀支持OCR和SECS/GEM，從而可用于全自動產線的生產制造。
KLA Zeta-388光學輪廓儀是非接觸式三維表面形貌測量系統(tǒng)。該系統(tǒng)在Zeta-300光學輪廓儀的基礎上，增加了用于全自動測量的機械手臂操作系統(tǒng)。Zeta-388光學輪廓儀采用ZDot技術和多模組光學系統(tǒng)，可測量各種不同的樣品：包括透明與不透明、低至高反射率、光滑到粗糙的表面，以及亞納米級到毫米級的臺階高度。KLA Zeta-388光學輪廓儀支持OCR和SECS/GEM，從而可用于全自動產線的生產制造。
快速的非接觸式三維光學輪廓儀
多模組光學系統(tǒng)提供3D掃描、差分干涉、薄膜厚度和自動缺陷檢測
全自動測量
同時提取樣品表面的真彩色信息和形貌信息
支持100至200mm的晶圓
支持OCR和SECS/GEM，適用于自動化產線的生產環(huán)境
用戶界面簡潔直觀
從納米級到毫米級的臺階高度，可用于高深寬比臺階測量
從亞納米級至亞毫米級的表面粗糙度分析，適用于光滑表面和粗糙表面
Z向高分辨率的白光干涉測量，可用于廣域臺階高度測量
移相掃描干涉技術可快速測量小于250nm的臺階高度
薄膜應力和樣品翹曲測量
測量30nm到100μm透明薄膜的厚度，可提供薄膜均勻性數(shù)據(jù)和薄膜厚度分布圖
自動缺陷檢測，可識別橫向尺寸大于1μm的缺陷
KLA Zeta-388 光學輪廓儀?的原理?是通過共聚焦原理實現(xiàn)樣品的高分辨率、高對比度的光學切片能力。它結合了傳統(tǒng)光學顯微鏡和激光共聚焦顯微鏡的特點，利用寬譜白光作為光源，通過空間濾波機制消除離焦光干擾，從而獲得高精度的三維圖像
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