臺階儀相關知識科普
優(yōu)尼康微課堂：什么是臺階儀？
臺階儀屬于接觸式表面形貌測量儀器，也叫探針式表面輪廓儀。臺階儀測量精度高、量程大、測量結果穩(wěn)定可靠、重復性好,被廣泛應用在各行各業(yè)。
測量原理：
當觸針沿被測表面輕輕滑過時，由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時，還沿峰谷作上下運動。觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況。
臺階儀性能優(yōu)劣取決于以下三個方面：
測試重復性、測試速度以及操作難易程度。這些因素決定了實驗數據的質量和實驗操作的效率。
在這以我們優(yōu)尼康提供的一款KLA臺階儀為例，簡單介紹下，
型號：P-17
支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量，適用于生產和研發(fā)環(huán)境。
P-17是KLA臺式探針輪廓儀。該系統(tǒng)支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達200mm而無需圖像拼接。
該系統(tǒng)結合了UltraLite傳感器、恒力控制和超平掃描平臺，具備出色的穩(wěn)定性。 通過點擊式平臺控制、頂視和側視光學系統(tǒng)以及帶光學變焦的分辨率相機等功能，程序設置簡便快速。
P-17具備用于量化表面形貌的各種濾鏡、調平和分析算法，可以支持2D或3D測量。 并通過圖案識別、排序和特征檢測實現全自動測量。
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