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FILMETRICS膜厚儀--光電子集成芯片技術(shù)中的應(yīng)用
光電子集成芯片技術(shù)包含光電子芯片外延生長、光電子芯片設(shè)計與制作、光電子芯片的工藝開發(fā)及封裝等等。特別是在制作光電子集成芯片的工藝過程中,需要嚴(yán)密控制SiOx,SiNx等膜層的厚度,以求達(dá)到工藝效果。FilmetricsF20 白光干涉膜厚測量儀作為一款精度高、測試速度快、操作簡便的高性能設(shè)備,可以很方便快速的測量這些膜層厚度。
2025-06-09 admin查看詳情 -
Parylene(派瑞林)涂層厚度測量實際應(yīng)用案例
由于 Parylene 涂層的性能特性是和它的涂層厚度息息相關(guān),所以在Parylene 涂層“生長”過程中,涂層厚度是需要嚴(yán)格控制,并需要實時監(jiān)測。
由于 Parylene 涂層“生長”在產(chǎn)品表面,某些對產(chǎn)品外觀有要求的應(yīng)用對涂層的透射率也是有嚴(yán)格要求的。所以也需要專用的設(shè)備進行質(zhì)量控制和生產(chǎn)監(jiān)測。2025-06-09 admin查看詳情