FILMETRICS膜厚儀--光電子集成芯片技術(shù)中的應(yīng)用

光電子集成芯片技術(shù)包含光電子芯片外延生長、光電子芯片設(shè)計與制作、光電子芯片的工藝開發(fā)及封裝等等。特別是在制作光電子集成芯片的工藝過程中，需要嚴密控制SiOx，SiNx等膜層的厚度，以求達到工藝效果。FilmetricsF20 白光干涉膜厚測量儀作為一款精度高、測試速度快、操作簡便的高性能設(shè)備，可以很方便快速的測量這些膜層厚度。