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- / HERZ減振臺(tái)：六自由度全維度隔振，讓精密測(cè)量更精準(zhǔn)
在精密測(cè)量與高端研發(fā)領(lǐng)域，環(huán)境的微小振動(dòng)往往是影響數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性與設(shè)備性能的“隱形殺手”。尤其是在半導(dǎo)體制造、材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)等前沿行業(yè)，對(duì)實(shí)驗(yàn)環(huán)境的穩(wěn)定性要求較高。如何有效隔離來(lái)自地面、設(shè)備內(nèi)部及周邊的振動(dòng)干擾，成為提升測(cè)量精準(zhǔn)度的關(guān)鍵。今天，我們要重點(diǎn)介紹的是HERZ減振臺(tái)，其獨(dú)特的六自由度全維度隔振技術(shù)，為超精密儀器提供了前所未有的穩(wěn)定環(huán)境。
許多高精尖設(shè)備，如掃描電子顯微鏡（SEM）、透射電子顯微鏡（TEM）、原子力顯微鏡（AFM）、白光干涉輪廓儀等，其分辨率可達(dá)納米甚至亞納米級(jí)別。即便是人無(wú)法感知的微小振動(dòng)，也會(huì)導(dǎo)致成像模糊、測(cè)量數(shù)據(jù)漂移，嚴(yán)重影響科研結(jié)果與生產(chǎn)質(zhì)量。傳統(tǒng)的被動(dòng)減振方式存在低頻共振、響應(yīng)慢等局限，難以滿足頂尖設(shè)備的嚴(yán)苛要求。
簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)，空間振動(dòng)來(lái)自六個(gè)方向：三個(gè)平移方向（上下、左右、前后）和三個(gè)旋轉(zhuǎn)方向。普通減振系統(tǒng)可能僅針對(duì)部分方向進(jìn)行抑制。而先進(jìn)的減振臺(tái)，如HERZ品牌的AVI系列，采用了創(chuàng)新的主動(dòng)隔振技術(shù)，能夠同時(shí)檢測(cè)并動(dòng)態(tài)抵消這六個(gè)自由度的振動(dòng)輸入。其核心在于內(nèi)部的壓電傳感器和驅(qū)動(dòng)器構(gòu)成的反饋回路，可實(shí)時(shí)生成與干擾振動(dòng)大小相等、方向相反的作用力，從而實(shí)現(xiàn)從源頭上的全維度振動(dòng)消除。
寬隔振頻率范圍：主動(dòng)隔振低至1Hz，甚至可搭配系統(tǒng)從0.5Hz開始，解決難以處理的地面低頻振動(dòng)問題。
卓越的隔振效果：在超過10Hz的頻率范圍內(nèi)，振動(dòng)傳遞率可低于-35dB，意味著超過97%的振動(dòng)被有效隔離。
極快的響應(yīng)與恢復(fù)：系統(tǒng)響應(yīng)時(shí)間短至5-20毫秒，振動(dòng)恢復(fù)時(shí)間小于10毫秒，確保設(shè)備在受到擾動(dòng)后迅速回歸穩(wěn)定狀態(tài)。
高負(fù)載與模塊化設(shè)計(jì)：采用模塊化構(gòu)建，承重能力可通過增加模塊靈活擴(kuò)展，例如AVI-600系列最大承重可達(dá)9000磅，適配從桌面型輪廓儀到大型電鏡的各種設(shè)備。
電子顯微鏡：為ZEISS等品牌的SEM、TEM提供支撐，顯著提升高倍率成像的分辨率與穩(wěn)定性。
光刻與計(jì)量設(shè)備：保障曝光機(jī)和各類高精度計(jì)量設(shè)備的定位精度。
表面形貌分析儀：為KLA Profilm3D白光干涉輪廓儀等設(shè)備創(chuàng)造理想測(cè)試環(huán)境，確保其實(shí)現(xiàn)次納米級(jí)（如0.1nm重復(fù)性）的測(cè)量精度。
掃描探針顯微鏡：為AFM、UHV-SPM等提供穩(wěn)定可靠的操作平臺(tái)。
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